战略支点 | 湖北率先布局原子级制造中试平台 柔电科技实现高通量粉末ALD装备国产替代
近日,柔电(武汉)科技有限公司(以下简称“柔电科技”)联合江汉大学通过省经信厅组织专家评审,被认定为湖北省首批60个省级制造业中试平台培育对象之一。省级制造业中试平台培育建设工作是湖北省经信厅为深入贯彻党的二十届三中全会和习近平总书记考察湖北重要讲话精神,落实全省科技创新大会、加快建成中部地区崛起重要战略支点推进大会部署和《制造业中试创新发展实施意见》、《加快布局建设制造业中试平台的通知》要求,发挥中试平台在科技创新与产业创新深度融合中的关键作用,强化中试平台在科技创新转化体系中的支撑作用,推动科技成果转化和产业化,加快构建体现湖北优势的现代化产业体系,建成中部地区崛起的重要战略支点,特组织开展的重要工作。此前,柔电科技已经入选武汉市中试平台。
柔电科技的微纳颗粒原子级制造技术与装备项目首次在行业和世界范围内提出了“微纳米颗粒表面极限构筑/极限调控/极限制造(3E)”概念。柔电科技团队通过关键技术创新,解决了微纳颗粒原子级制造的难题:创新性地将半导体行业的原子层薄膜沉积技术(ALD)与化工制造中的大规模多相混合技术相结合。
- 创造了微纳米颗粒表界面原子级构筑装备的材料-分散-反应一体设计制造理论。
- 发展了大批量微纳米颗粒表界面原子级构筑反应腔的核心制造技术。
- 创新了大批量微纳米粉体高压连续输送原理和装备的设计方法。
- 提出了微纳米颗粒表界面原子级构筑过程原位监测系统集成理论及参数测量与控制新方法。
通过这些核心技术的突破,柔电科技成功发展了具有完全自主知识产权的年产量百吨级新型微纳米颗粒表界面原子层级构筑示范装备,并形成了批量生产能力。该成果标志着中国在高端粉体材料原子级精密制造装备领域实现了自主可控的重大突破,打破了国外技术垄断。柔电科技也因此成为国内首家实现ALD原子级制造装备量产的公司。目前,该原子层级制造装备的技术成果已在电池、导热和航空航天等领域得到成功应用,并成功服务于头部企业。
柔电科技高度重视知识产权体系建设,围绕ALD原子级制造装备已授权核心发明专利27余项,发表SCI论文10篇。团队的创新实力获得了广泛认可,累计获得省部级与国家级行业协会科技进步奖十余项。2023年,项目作为湖北省唯一成果入选中国科协“科创中国”先导技术榜单并主导制定了《原子层沉积粉体包覆设备》团体标准。2024年,柔电科技成功获批科技部国家重点研发计划颠覆性技术创新项目,2025年问鼎日内瓦国际发明展金奖。
柔电(武汉)科技有限公司成立于2016年3月,是一家由俄罗斯工程院外籍院士、国家海外高层次人才特聘专家、湖北省百人计划专家、光谷3551人才团队创办的国家高新技术企业。公司秉持为能源存储行业提供创新性解决方案,助力中国制造实现自主可控的使命,致力于关键“卡脖子”技术的突破。