柔电科技高端粉末原子沉积装备成功交付，助力固态电池材料创新
近日，在科技部颠覆性技术国家重点研发计划和工信部原子级制造揭榜挂帅专项支持下，柔电（武汉）科技有限公司为国内某知名固态电池研究所定制开发的10kg级流化床型粉末原子沉积改性系统顺利完成交付。
此次交付的设备，聚焦全固态电池领域界面相容性不足、电极材料循环稳定性不佳等行业共性难题，双方精准对标航天级严苛标准，面向高可靠、高稳定应用需求开展协同攻关，完成了高端装备的定制化研发与制造，标志着柔电科技在粉体材料原子级表界面调控装备领域取得重要突破。
聚焦行业痛点，打造公斤级高端装备
面向固态电池材料研发与中试应用需求，柔电科技围绕粉体材料表面原子级包覆与改性，持续推进装备核心能力建设。此次交付的10kg级流化床型粉末原子沉积改性系统，具备以下突出优势：
1. 公斤级处理能力
设备腔体内容积≥10L，单批次可处理粉体1~10kg，能够满足公斤级规模化工艺开发与应用需求。
2. 原子级精准包覆能力
系统单次包覆厚度可精准控制至0.1nm，包覆均匀性偏差≤10%、重复性偏差≤10%，可实现氧化物、氟化物、磷酸盐、有机物等多类型材料的表面包覆与改性。
3. 宽工艺窗口与强适配性
设备工艺温度覆盖室温至300℃，配置氮气或氩气流化吹扫功能，兼容4个前躯体源瓶接口，可接入ALD液态源、固态源共4瓶，源瓶加热温度最高可达180℃，具备良好的工艺扩展能力和材料适配能力。
4. 智能化安全保障
系统搭载臭氧发生器、在线质谱RGA及柔电科技自研ALD智能软件控制系统，可对阀门、温度、压力、真空等关键参数进行实时监测与控制。设备预装10条常用包覆程序，支持触摸屏配方编辑与修改，具备异常报警、日志记录及EMO紧急制动等功能，为生产安全与工艺稳定运行提供有力保障。
以“3E”理念推动原子级制造创新
围绕微纳米颗粒表界面原子级构筑需求，柔电科技首次提出“微纳米颗粒表面极限构筑 / 极限调控 / 极限制造（3E）”理念，致力于破解微纳颗粒原子级制造难题。
通过将半导体领域的原子层沉积技术（ALD）与化工制造中的大规模多相混合技术深度融合，柔电科技在多个关键方向实现创新突破：
- 构建材料—分散—反应一体化设计制造理论，创新形成微纳米颗粒表界面原子级构筑装备设计框架；
- 形成反应腔核心制造技术，突破大批量微纳米颗粒表界面原子级构筑反应腔关键工艺；
- 创新提出高压连续输送原理与装备实现方法，推动微纳米粉体连续化输送能力提升；
- 建立原位监测系统集成方案，实现构筑过程关键参数的测量、反馈与控制。
从方案论证到现场交付，展现工程化实力
此次设备顺利交付，是柔电科技以核心技术创新驱动高端装备制造的重要实践。
在项目实施过程中，柔电科技围绕技术方案论证、装备定制研发、系统集成、现场调试与交付验收等关键环节，与用户团队紧密协同，高效完成了从研发设计到落地应用的全流程工作，充分展现了公司在原子级制造装备领域的技术实力与工程化交付能力。
持续推进智能化、规模化与产业化发展
未来，柔电（武汉）科技有限公司将持续推进粉末原子沉积装备的智能化、规模化与产业化发展，推动相关技术在新能源、新材料等领域的深入应用，以核心技术创新持续赋能我国高端制造产业升级。
